Präzision auf Mikrometerebene: Hochpräzisions-Kugelgewindetriebe für die Halbleiterfertigung
In der Halbleiterfertigung entscheiden wenige Mikrometer über Gutteil oder Ausschuss. Klassische Antriebslösungen stoßen hier schnell an ihre Grenzen – etwa durch Spiel in der Mechanik, unruhigen Lauf oder Temperaturänderungen. I&F Hochpräzisions-Kugelgewindetriebe von GROB bieten dafür eine bewährte Lösung: Sie übernehmen die hochdynamische, wiederholgenaue Positionierung von Wafern und Masken in Belichtungs-, Prüf- oder Bestückungsanlagen.
Hochpräzisions-KGTs
Hohe Präzision und Zuverlässigkeit für sensible Halbleiteranlagen
Dank geschliffener Spindeln, enger Toleranzen und optional vorgespannten Muttern lassen sich Umkehrspiel und Positionierfehler deutlich reduzieren. Für den Konstrukteur heißt das: klar definierte Anforderungen wie sehr hohe Wiederholgenauigkeit, minimales Spiel und stabile Prozessbedingungen werden zuverlässig erfüllt. Durch ihre hohe Laufruhe, geringe Reibung und lange Lebensdauer eignen sich diese Kugelgewindetriebe ideal für Reinraumanwendungen mit hohen Taktzahlen. Mit Messprotokollen, nachweisbarer Qualität und persönlicher Beratung stehen wir Ihnen zusätzlich als verlässlicher Partner zur Seite – gerade bei sensiblen Anlagen in der Mikroelektronik.
